Ученые Института тепло- и массообмена Национальной академии наук Беларуси разработали установку для получения сверхчистого кварцевого стекла, перспективного для применения в фотолитографии — ключевом методе производства микроэлектроники. Об этом сообщил заведующий отделением физики и химии неравновесных сред Олег Пенязьков на Всероссийской конференции «Горение топлива: теория, эксперимент, приложения».
Фотолитография — процесс нанесения рисунков на поверхности материалов, широко используемый при создании печатных плат. Для эффективного применения этого метода необходимы стекла с высокой степенью прозрачности. Новая установка, созданная белорусскими учёными, позволяет получать такие материалы благодаря использованию технологий газовой горелки в компактном исполнении.
Таким образом, в настоящий момент мы фактически получаем надежные образцы высокогочистого аморфного кварцевого стекла весом до 2-3 кг. Олег Пенязьков заведующий отделением физики и химии неравновесных сред
Для создания стекла используется специальный прекурсор — молекула, содержащая четыре атома кремния, соединённых с кислородом, и углеводородные соединения. Процесс представляет собой послойное «выращивание», которое может длиться от нескольких суток до нескольких недель. Для установки была разработана уникальная горелка со 120 соплами.
Учёные рассчитывают через четыре года достичь объёма производства стекла около 1,5 тонны в год с перспективой увеличения до 10–20 тонн.
Читайте также:
Россия запускает массовое производство доступных микросхем в металлополимерных корпусах